產(chǎn)品參數(shù)：
技術(shù)參數(shù)
1．測量范圍：X軸   800  mm，Y軸  1000  mm， Z軸 600  mm
2．結(jié)構(gòu)型式：活動(dòng)橋式，三軸均采用精密氣浮式導(dǎo)軌
3．傳動(dòng)方式：直流伺服系統(tǒng) + 預(yù)載荷高精度空氣軸承
4．光柵系統(tǒng)：開放式光柵尺，分辨率0.4μm
5．機(jī)    臺：高精度花崗巖平臺
6．機(jī)臺承重： 500   kg
7．整機(jī)重量： 1114   kg
8．整機(jī)尺寸(LWH)：   1350   mm X   1935   mm X  2650   mm
9．使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度55%-65%
10．空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
11．空氣流量：120 L/min