測(cè)量塵埃的技術(shù)參數(shù)及性能：
（1） 允許被測(cè)試空氣的含塵濃度≯10 萬顆/2.83L
（2） 空氣采樣流量：   2.83 L/min
（3） 潔凈室（區(qū)）空氣潔凈度級(jí)別表：(ISO14644-1部分內(nèi)容)

潔凈度級(jí)別	塵粒最大允許數(shù)/立方米		塵粒最大允許數(shù)/2.83升
	≥0.5μm	≥5μm	≥0.5μm	≥5μm
100級(jí)	3,520	29	10	0
1000級(jí)	35,200	293	100	0
10,000級(jí)	352,000	2,930	996	8
100,000級(jí)	3,520,000	29,300	9,962	83
300,000級(jí)	10,560,000	87,900	29,885	249
1000,000級(jí)	35,200,000	293,000	99,616	829

（4） 粒徑通道：0.3μm、0.5μm、1μm、3μm、5μm、10μm六檔
（5） 采樣周期：分十檔1 min～10 min 
（6） 自凈時(shí)間：＜20 min
（7） 工作環(huán)境：溫    度：10～35℃
（8） 相對(duì)濕度：≤75%RH
（9）儀器應(yīng)在無腐蝕性的空氣環(huán)境中使用。