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| 型號 | VMS-3020F | |
| X、Y軸測量行程 | 300*200mm | |
| Z軸行程 | 200mm調焦及輔助測量(可加裝精密測頭做3D測量) | |
| 傳動形式 | X、Y軸光桿傳動(德國技術),Z軸手輪傳動 | |
| 玻璃臺尺寸 | 340*240 mm | |
| 工作臺尺寸 | 450*350 mm | |
| 外部尺寸 | 760×600×900 mm | |
| 重量 | 200kg | |
| 承重 | 35kg | |
| 測量精度 | X.Y坐標示值誤差(2.2+L/200)μm | |
| 光柵尺分辨率 | 0.001MM | |
| 導軌(P級V型導軌) | 采用直線預載荷高精度導軌,最優化交叉導軌負載布局,抗角擺能力強,阻力小、磨損小 | |
| 圖像傳感器 | 高分辨率1/3 "彩色CCD攝像機800TV線 | |
| 光源 | 輪廓光 | LED冷光源 平行光 可調 |
| 表面光 | LED冷光源 256級 可調 | |
| 光學鏡頭(物鏡) | 0.7~4.5X連續變焦物鏡 | |
| 放大倍率(目鏡) | 標配1X(26.6~171)倍,可選0.5X(13.3-85.5)倍、2X(52-342)倍 | |
| 物方視場 | 8.1mm~1.3mm | |
| 軟件 | 專業2.5D測量軟件(半自動測量軟件) | |
| 工作距離 | 92mm | |
| 工作環境 | 溫度25℃±5℃,溫度變化<5℃/hr,濕度30~80% | |
| 電源 | 220V/50Hz/3A | |
| 電腦配置情況 | 專用工控電腦(可選) | |
| 桌子 | 專用大理石桌(1.5米X1米X0.68米)(可選) | |
| 一鍵歸零鍵 |
硬件自帶X、Y、Z軸一鍵式歸零(特有) |
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