產品參數： 技術參數
1．測量范圍：X軸 800 mm，Y軸 1000 mm， Z軸 600 mm
2．結構型式：活動橋式，三軸均采用精密氣浮式導軌
3．傳動方式：直流伺服系統 + 預載荷高精度空氣軸承
4．光柵系統：開放式光柵尺，分辨率0.4μm
5．機 臺：高精度花崗巖平臺
6．機臺承重： 500 kg
7．整機重量： 1114 kg
8．整機尺寸(LWH)： 1350 mm X 1935 mm X 2650 mm
9．使用環境：溫度(20±2)℃，濕度55%-65%
10．空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
11．空氣流量：120 L/min
