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| 型號 | VMS-3020F | |
| X、Ｙ軸測量行程 | 300*200mm | |
| Z軸行程 | 200mm調焦及輔助測量(可加裝精密測頭做3D測量) | |
| 傳動形式 | X、Y軸光桿傳動（德國技術），Z軸手輪傳動 | |
| 玻璃臺尺寸 | 340*240 mm | |
| 工作臺尺寸 | 450*350 mm | |
| 外部尺寸 | 760×600×900 mm | |
| 重量 | 200kg | |
| 承重 | 35kg | |
| 測量精度 | X.Y坐標示值誤差(2.2+L/200)μm | |
| 光柵尺分辨率 | 0.001MM | |
| 導軌（P級V型導軌） | 采用直線預載荷高精度導軌，最優化交叉導軌負載布局，抗角擺能力強，阻力小、磨損小 | |
| 圖像傳感器 | 高分辨率1/3 "彩色CCD攝像機800TV線 | |
| 光源 | 輪廓光 | LED冷光源 平行光 可調 |
| 表面光 | LED冷光源 256級 可調 | |
| 光學鏡頭（物鏡） | 0.7～4.5X連續變焦物鏡 | |
| 放大倍率（目鏡） | 標配1X（26.6～171）倍，可選0.5X（13.3-85.5）倍、2X（52-342）倍 | |
| 物方視場 | 8.1mm～1.3mm | |
| 軟件 | 專業2.5D測量軟件（半自動測量軟件） | |
| 工作距離 | 92mm | |
| 工作環境 | 溫度25℃±5℃，溫度變化<5℃/hr，濕度30～80% | |
| 電源 | 220V/50Hz/3A | |
| 電腦配置情況 | 專用工控電腦（可選） | |
| 桌子 | 專用大理石桌（1.5米X1米X0.68米）（可選） | |
| 一鍵歸零鍵 | 硬件自帶X、Y、Z軸一鍵式歸零（特有） | |
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