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| 潔凈度級別 | 塵粒最大允許數/立方米 | 塵粒最大允許數/2.83升 | ||
| ≥0.5μm | ≥5μm | ≥0.5μm | ≥5μm | |
| 100級 | 3,520 | 29 | 10 | 0 |
| 1000級 | 35,200 | 293 | 100 | 0 |
| 10,000級 | 352,000 | 2,930 | 996 | 8 |
| 100,000級 | 3,520,000 | 29,300 | 9,962 | 83 |
| 300,000級 | 10,560,000 | 87,900 | 29,885 | 249 |
| 1000,000級 | 35,200,000 | 293,000 | 99,616 | 829 |
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